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        三菱高濃度臭氧氣體發生系統介紹

        來源:www.senadis.com 作者:同林臭氧 時間:2024-03-27 16:11

        三菱高濃度臭氧氣體發生系統介紹

        特征:

        • 采用氮氣不添加法產生超高濃度臭氧氣體,達到400g/m的超高、行業領先濃度3(北)
        • 通過采用不添加氮氣的方法來清潔臭氧氣體(其中氮氧化物的產生限制在其極限*)并保持所需的質量,從而限制金屬污染物的產生,從而使圖案小型化和提高薄膜質量。
          *氮氧化物濃度0.01ppm以下(與之前型號相比為1/10000)
        • 獨特的超短間隙放電技術的繼承,具有出色的啟動特性、穩定性和冷卻效率。
        • 符合國際標準,符合CE標志和SEMI-S2
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        H系列

        在不使用氮添加劑的情況下產生行業領先的超高濃度臭氧氣體,主要用于半導體和制造工藝。

        P系列

        僅使用高純度氧氣產生清潔臭氧氣,主要用于半導體和制造工藝,不含氮添加劑。

        C系列

        產生適用于半導體制造工藝的清潔臭氧氣體

        N系列

        使用普通氧氣產生高濃度臭氧氣體。主要應用包括半導體制造工藝、化學工藝、食品制造工藝和水處理。

        臭氧水生產系統

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        U系列

        制造適用于半導體制造工藝的清潔臭氧水。主要應用包括半導體制造工藝和精密機器零件清洗。

         

        母線粘接機

        特征

        • 將導線直接粘接到薄板玻璃上。
        • 無需加熱、焊接材料或耗材即可形成母線排。
        • 接觸電阻低,電性能好。
        • 原始技術可以減少對玻璃的損壞。

        基本規格

        • 引線的自動張力控制。
        • 監控系統(制造條件、粘接痕跡)。
        • 可更換的吸頭(工具)
        • 砧座和固定結構(減少對玻璃的損壞)。

        粘接成就

        • 玻璃厚度[mm]:0.65~4
        • 玻璃的表面材料
          • 玻璃原料
          • 沉積薄膜(ITO、ZnO、Ag、Cr、Al、Ti、Ni等)
        • 平板玻璃尺寸 [mm]
          • □100、□300、500 x 1000、600 x 1200 等

        相關產品

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        同林高濃度臭氧發生器(臭氧濃度可達300mg/L)


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